三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)作為一種制造業(yè)普遍認(rèn)可的測(cè)量方式。使用三坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)量時(shí)，平面度測(cè)量是幾何量評(píng)價(jià)的基本內(nèi)容，是１４類誤差測(cè)量中基本也是具有代表性的。

    平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測(cè)方法中，平面度的測(cè)量通常有：液平面法、激光平面干涉儀測(cè)量法（平晶干涉法）、水平儀/數(shù)字水平儀測(cè)量法等。

    如今，用三坐標(biāo)測(cè)量平面度原理和方法平面度公差用以限制平面的形狀誤差。其公差帶是距離為公差值的兩平行平面之間的區(qū)域。 三坐標(biāo)在測(cè)量平面度時(shí)，在平面上采取數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)。

    平面度公差用以限制平面的形狀誤差。其公差帶是距離為公差值的兩平行平面之間的區(qū)域。三坐標(biāo)在測(cè)量平面度時(shí)，在平面上采取數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)，用測(cè)量點(diǎn)以最小二乘法擬合一個(gè)平面，包容所有測(cè)量點(diǎn)的兩個(gè)平行平面間的距離為平面度。這兩個(gè)平行平面平行于擬合的最小二乘平面。最小二乘法的原理是，所有測(cè)量點(diǎn)距離擬合元素（平面、直線、圓、圓柱）的距離的平方和最小。

    應(yīng)用三坐標(biāo)測(cè)量平面度時(shí)需要注意，針對(duì)工件選擇對(duì)應(yīng)的三坐標(biāo)測(cè)頭配置，粗糙度不同的平面，對(duì)平面度的要求是不一樣的。粗糙度越大的平面，盡量選擇直徑較大的探針。導(dǎo)入CAD模型時(shí)選擇導(dǎo)入ICES文件，建立好工件坐標(biāo)系讓模型與工件對(duì)齊，使用面選擇器選擇樣件的上表面作為實(shí)驗(yàn)案例，紅色離亮部分為待測(cè)區(qū)。

    一般情況下，三坐標(biāo)對(duì)平面度測(cè)量點(diǎn)數(shù)越多反應(yīng)的被測(cè)平面的平面度越真實(shí)。平面度測(cè)量，無(wú)論采用哪種法則，都至少要測(cè)４點(diǎn)。因此首先要規(guī)劃測(cè)量路徑，根據(jù)被測(cè)平面的長(zhǎng)寬為80X80，我們可以編輯一個(gè)柵格點(diǎn)的測(cè)量路徑，也可以把我們從CAD上選取的平面PLN1拖人“測(cè)量”模塊的“面”圖功能，在數(shù)顯取設(shè)置測(cè)量點(diǎn)數(shù)為80后點(diǎn)擊“生成測(cè)量點(diǎn)”，檢查生成的測(cè)量路徑，點(diǎn)擊“測(cè)量”

    完成上述測(cè)量步驟，評(píng)估平面度：切換到“公差”模塊的“平面度”功能，拖入已測(cè)量的實(shí)際平面PLN1到元素名如圖6，輸入公差帶0.02點(diǎn)擊“定義公差”確認(rèn)設(shè)置，完成被測(cè)平面的平面度公差評(píng)估。

平面度測(cè)量數(shù)據(jù)處理

    三坐標(biāo)的平面度計(jì)算方式與以往所熟悉的計(jì)算方法不一樣，不需要使用計(jì)算法、作圖法、對(duì)角線發(fā)等求取平面度的誤差值。都是通過(guò)軟件自動(dòng)計(jì)算出被測(cè)面得平面度公差，我們只需要輸出公差報(bào)告就可以直觀看出平面誤差的“圖形錯(cuò)誤報(bào)告”。

    在高精度測(cè)量領(lǐng)域，思瑞測(cè)量公司的croma三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)產(chǎn)品以其在硬件和軟件配置上具有的優(yōu)勢(shì)，使用三坐標(biāo)進(jìn)行采點(diǎn)測(cè)量工作時(shí)，為保證測(cè)量結(jié)果真實(shí)可信，應(yīng)予充分重視。不論是形狀誤差、還是位置誤差，或者尺寸的測(cè)量，有了正確的測(cè)點(diǎn)信息，才能保證計(jì)算評(píng)價(jià)的真實(shí)性。