三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種精密的測(cè)量?jī)x器，它的測(cè)量空間中的任何一點(diǎn)都可以達(dá)到微米的級(jí)別，隨著現(xiàn)在科學(xué)的發(fā)展，精密制造業(yè)的不斷進(jìn)步，對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度要求進(jìn)一步的提高了，否則很難適應(yīng)超精加工和科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需求。

為了提高三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度，就要針對(duì)能夠影響精度方面的因素做出處理。以下總結(jié)出提高三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度的四個(gè)步驟，希望能對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的使用者有所幫助。

    一：提高標(biāo)尺的精度，激光干涉標(biāo)尺系統(tǒng)將在測(cè)量機(jī)中得到較多應(yīng)用，特別是大型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，這種“無形”標(biāo)尺更有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。在采用激光干涉標(biāo)尺時(shí)，還有兩個(gè)問題需注意。一是不要讓激光產(chǎn)生的熱影響測(cè)量機(jī)的精度，激光器常放在隔熱艙外，光束通過光纖或反射鏡引入；二是注意折射率的補(bǔ)償。為了減少大氣擾動(dòng)的影響，可以對(duì)光路進(jìn)行全封閉或半封閉，即讓激光干涉儀在密閉的罩內(nèi)工作。

    二：要提高三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)結(jié)構(gòu)的精度，包括測(cè)量機(jī)主機(jī)、分度臺(tái)、測(cè)頭與各種測(cè)頭附件的精度。這里尤為重要的是提高他的重復(fù)精度。

    三，要努力減小力變形、熱變形及其它環(huán)境因素帶來的影響。特別要注意避免復(fù)雜力變形與熱變形。這要從結(jié)構(gòu)和環(huán)境控制兩方面采取措施。

    四，還要采用適當(dāng)?shù)牟蓸硬呗浴y(cè)量機(jī)應(yīng)具有智能功能，能針對(duì)被測(cè)參數(shù)及精度要求，采用較佳采樣策略。

    相信，經(jīng)過上面所說的四個(gè)步驟，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度將得到進(jìn)一步的提升，可以更好地為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用者服務(wù)。